由于弧光放電的特性，大顆粒是多弧離子鍍技術不可避免的缺陷。它的存在會影響涂層的加工質量，因此已經(jīng)有人對此做了一些改善。在靶材表面加磁過濾管道，或者在基體和靶材之間增加擋板，是在文獻中和zhuanli中能經(jīng)常見到的一種方法，但是這些方法都在一定程度降低了涂層的沉積率，因此沒有在實際生產(chǎn)中獲得很好的應用。生產(chǎn)中常見采用機械拋光的方法。下圖就是機械拋光后涂層表面形貌的一個對比，去除效果很明顯。這種涂層后處理方法由于效果明顯，設備造價低，受到生產(chǎn)企業(yè)的青睞，在實際生產(chǎn)中得到了很好的應用。

另外我們也做了一些嘗試，采用高能離子轟擊來去除大顆粒，從下圖來看，以TiN涂層為基礎，在涂層沉積完成后，我們采用高能的鉻離子對涂層的表面進行離子轟擊，涂層表面的大顆粒也得到了一定程度的改善。