真空泵鍍膜是真空泵主要用途的一個(gè)關(guān)鍵層面，它是以真空設(shè)備為基本，運(yùn)用物理學(xué)或有機(jī)化學(xué)方式，并消化吸收離子束、分子結(jié)構(gòu)束、電子束、等電子束、頻射和磁控等一系列新技術(shù)應(yīng)用，為科研和具體生產(chǎn)制造出示薄膜制取的一種新技術(shù)新工藝。簡(jiǎn)易地說(shuō)，在真空泵中把金屬材料、鋁合金或化學(xué)物質(zhì)開(kāi)展揮發(fā)或磁控濺射，使其在被涂敷的物件（稱基鋼板、襯底或基體）上凝結(jié)并沉積的方式，稱之為真空泵鍍膜。

大家都知道，在一些原材料的表面上，要是鑲上一層薄膜，就能使原材料具備很多新的、優(yōu)良的物理學(xué)和有機(jī)化學(xué)特性。二十世紀(jì)七十年代，在物件表面上鍍膜的方式關(guān)鍵有電鍍法和化學(xué)鍍鎳法。前面一種是根據(jù)接電源，使鋰電池電解液電解法，被電解法的等離子噴涂到做為另一個(gè)電級(jí)的基體表面上，因而這類鍍膜的標(biāo)準(zhǔn)，基體務(wù)必是電的良導(dǎo)體，并且薄膜薄厚也無(wú)法操縱。后面一種是選用有機(jī)化學(xué)還原法，務(wù)必把膜材配置成水溶液，并能快速報(bào)名參加氧化反應(yīng)，這類鍍膜方式不但薄膜的融合抗壓強(qiáng)度差，并且鍍膜既不勻稱也不易控制，另外還會(huì)繼續(xù)造成很多的廢水，導(dǎo)致比較嚴(yán)重的環(huán)境污染。因而，這二種被大家稱作濕試鍍膜法的鍍膜加工工藝遭受了非常大的限定。

真空泵鍍膜則是相對(duì)性于所述的濕試鍍膜方式而發(fā)展趨勢(shì)起來(lái)的一種新式鍍膜技術(shù)性，一般 稱之為干試鍍膜技術(shù)性。

歸類

真空泵鍍膜技術(shù)性一般分成兩類，即物理學(xué)液相沉積（PVD真空鍍膜）技術(shù)性和有機(jī)化學(xué)液相沉積（CVD）技術(shù)性。

物理學(xué)液相沉積技術(shù)性就是指在真空泵標(biāo)準(zhǔn)下，運(yùn)用各種各樣物理方法，將鍍料汽化成分子、分子結(jié)構(gòu)或使其離化作正離子，立即沉積到基體表面上的方式。制取硬質(zhì)的反映膜大多數(shù)以物理學(xué)液相沉積方式制取，它運(yùn)用某類物理學(xué)全過(guò)程，如化學(xué)物質(zhì)的熱揮發(fā)，或遭受離子轟擊時(shí)化學(xué)物質(zhì)表面分子的磁控濺射等狀況，完成化學(xué)物質(zhì)分子從源化學(xué)物質(zhì)到薄膜的可控性遷移全過(guò)程。物理學(xué)液相沉積技術(shù)性具備膜/基結(jié)合性好、薄膜勻稱高密度、薄膜薄厚可操控性好、運(yùn)用的濺射靶材普遍、磁控濺射范疇寬、可沉積厚膜、可制得成份平穩(wěn)的鋁合金膜和可重復(fù)性好等優(yōu)勢(shì)。另外，物理學(xué)液相沉積技術(shù)性因?yàn)槠涮幚砉に嚋囟瓤刹倏v在500℃下列，因而可做為最后的工藝處理用以彈簧鋼和硬質(zhì)合金刀具類的薄膜數(shù)控刀片上。因?yàn)檫x用物理學(xué)液相沉積加工工藝可大大提高數(shù)控刀片的加工性，大家在爭(zhēng)相開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)性能卓越、很高的可靠性機(jī)器設(shè)備的另外，也對(duì)其主要用途的拓展，尤其是在彈簧鋼、硬質(zhì)合金刀具和瓷器類數(shù)控刀片中的運(yùn)用開(kāi)展了更為深層次的科學(xué)研究。

有機(jī)化學(xué)液相沉積技術(shù)性是把帶有組成薄膜原素的氫氧化物汽體或化學(xué)物質(zhì)提供基體，依靠液相功效或基體表面上的化學(xué)變化，在基體上制成金屬材料或化學(xué)物質(zhì)薄膜的方式，關(guān)鍵包含過(guò)熱蒸汽有機(jī)化學(xué)液相沉積、底壓有機(jī)化學(xué)液相沉積和兼具CVD和PVD二者特性的低溫等離子有機(jī)化學(xué)液相沉積等。